Размер элемента характеризует уровень миниатюризации в процессоре. Для производства более мощных процессоров необходимо использовать большее количество транзисторов — это означает, что транзисторы должны быть как можно более маленькими. Технологические усовершенствования в производстве интегральных схем позволяют уменьшать размеры схем. Ранее считалось, что нельзя использовать технологические нормы менее 1 микрона. Но современные процессоры построены по 0,25—0,18 микронной технологии, а самые последние модели достигли уровня 0,13 микрон. В перспективе технологическую норму изготовления интегральных схем реально довести до 0,08 микрон. Кроме того, важна проблема отвода тепла от кристалла микропроцессора. Увеличение количества транзисторов в кристалле приводит к выделению дополнительной тепловой энергии, поэтому размер каждого отдельного транзистора должен становиться как можно меньше. Размер и компоновка транзисторов влияет и на размер кристалла микропроцессора.
Размер кристалла характеризует его физическую площадь и измеряется в квадратных миллиметрах (мм2). Чем меньше размер кристалла микропроцессора, тем больше можно их получить из одной подложки, что снижает себестоимость производства и делает их более дешевыми. Чем меньше размер кристалла микропроцессора, тем меньше и его энергопотребление.